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伯东贸易(深圳)有限公司

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美国,KRI,射频离子源,RFICP,100

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更新日期2023-05-11 22:16

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商品信息

基本参数

品牌:

未填

所在地:

广东 深圳市

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长期有效
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    产品描述

 

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 100, 离子束可选聚焦, 平行, 散射.

KRI 射频离子源属于大面积射频离子源 (栅网离子源), 离子束流: >350 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm

采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

适用于离子溅镀和离子蚀刻, 实现完美的薄膜特性. 在离子刻蚀工艺中, 离子源与离子光学配合, 蚀刻更均匀. 

美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:

portant;">

型号

portant;">

RFICP 100

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>350 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

10 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

5-30 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

23.5 cm

portant;">

直径

portant;">

19.1 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 应用领域:

伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 100 应用领域:

1. 预清洗

2. 表面改性

3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD,

4. 溅镀和蒸发镀膜 PC

5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6. 离子蚀刻 IBE

 

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