信息发布平台
发布信息当前位置: 首页 » 供应 » 机械工业

美国,KRI,线性霍尔离子源,eH,Linear

发布时间:2021-05-07
浏览:174
公司基本资料信息
单价:面议
供货总量:未填写
所在地:广东 深圳市
起订量:未填写
发货期限:自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至:长期有效
询价
产品详细说明
   产品描述

 

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布.

KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”

放电电压 / 电流: 50-300eV /

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

型号

eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

供电

DC magnetic confinement

- 电压

40-200V VDC

- 阳极结构

模块化

电源控制

eHL-30010A

配置

-

- 阴极中和器

Filamentless

- 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

- 阳极

标准或 Grooved

- 底座

移动或快接法兰

- 高度

10 cm

宽度

10 cm

- 长度

~ 100cm

-工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

 

Model

eHL 200-3

eHL 200-5

Height (nominal)

2.9” (7.4cm)

2.9” (7.4cm)

Width (nominal)

3.3” (8.4cm)

3.3” (8.4cm)

Length (nominal)

Determined by number of modules & application

Determined by number of modules & application

Cathode/Neutralizer

Yes

Yes

Anode module

Yes

Yes

Filamentless

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Process gases

Inert, reactive, & organic

Inert, reactive, & organic

Power co***oller

eH Plasma Power Pack

eH Plasma Power Pack


信息[美国,KRI,线性霍尔离子源,eH,Linear]由伯东贸易(深圳)有限公司在聚推吧发布;请自行辨认真伪;商务牛不保证信息的真实性并不承担任何责任!
更多»本企业其它产品

[ 供应搜索 ] [ 加入收藏 ] [ 告诉好友 ] [ 打印本文 ] [ 违规举报 ] [ 关闭窗口 ]

网站首页 | TOP300 | 联系方式 | 使用协议 | 网站地图 | SiteMap | BaiduNews | 闽ICP备08000890号-9